在激光加工领域,532nm是一个被偏爱的波长。它处于可见光波段,光子能量适中,材料吸收效率好,热影响小,许多生物分子和量子体系的能级跃迁也恰好落在这个波段。晶圆开槽、隐切等激光加工工艺,也常常选用绿光。
但532nm激光好用,不意味着它随随便便能轻易被用得好。
传统光学元件只能对光束做固定形状的整形。高斯光斑能量集中在中心,加工时槽型边缘不平整,热影响区偏大。量子实验需要动态可编程的光场,固定元件根本做不到。生物医疗要求光斑形状和病灶精确匹配,更不是传统方案能解决的。


问题的根源是一样的:光场需要被实时、动态、高精度地调控。而这些正是LCoS空间光调制器在532nm波段可以提供的价值。剑芯光电在532nm波段提供了一套经过验证的解决方案。
一、半导体制造
在半导体激光加工中以晶圆开槽为例。激光进入光学系统后,加载全息图,系统实时调用,对激光进行连续相位调制,把一束普通激光改造成能量均匀的平顶光。能量不再集中在中心,而是均匀铺在光斑上,槽型更规整,边缘更清晰。
剑芯光电自研的全息图算法可实现多种光束整形,532nm空间光调制器可应用于晶圆隐切、晶圆开槽等加工场景。在半导体领域,公司已实现硅、碳化硅等材料的多焦点隐切方案。


二、量子科技与前沿科研
532nm在量子领域有特殊地位。中性原子量子计算中,532nm激光常用于构建光镊阵列和实现量子比特操控。光子量子信息处理中,SLM被用于相位全息术和轨道角动量操控。这些实验需要动态可编程的光场,剑芯光电的SLM支持实时相位调制,可针对量子通信和量子计算应用定制工作波长、相位调制量和响应时间。
三、生物医疗
532nm绿光常用于光遗传学刺激、荧光激发和细胞操控。剑芯光电有一项具体应用:结合晶状体蛋白再活化与自重组技术,为非侵入性白内障提供与病态细胞形状相匹配的光塑形,实现更准确的手段。

四、为什么这三个方向都指向剑芯光电?
因为核心芯片是自己造的。剑芯光电拥有完全自主研发的先进制程封装工艺,可针对工作波长、相位调制量、衍射效率等参数提供定制化服务。公司自研全息图算法,提供从器件到系统集成的完整方案。前身为2014年创立于英国的CamOptics Ltd,由剑桥大学博士团队创立,2022年落地苏州工业园区,技术脉络可追溯到剑桥大学工程系四十多年的积累。

如果你正在为532nm激光寻找光场调控方案,无论是晶圆开槽、量子实验还是生物医疗,剑芯光电可以提供从器件到系统的完整支持。欢迎联系我们,获取详细技术参数和测试报告。
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